深圳市托理拆利機電設備有限公司是英國Edwards愛德華真空泵授權代理商，24小時提供技術支持及售后服務，為客戶提供定制化真空解決方案，在充分考慮真空技術要求的基礎上以最低的成本滿足所需的性能。設計系統(tǒng)時，我們會兼顧運行成本和環(huán)保要求。涵蓋各應用領域如:半導體、鋰電、實驗室、光伏太陽能、平板顯示、工業(yè)應用、塑料、醫(yī)療、PET擠出機脫氣、吸塑機械、包裝機械、線路板等；我們能夠為您提供高附加值的真空解決方案。技術服務:138，237，883，80

　　愛德華Edwards真空泵在半導體面板真空吸附真空清掃、光伏、鋰電應用案例介紹

　　近年來，真空泵業(yè)務高增長，光伏客戶提貨加速，半導體重要客戶形成批量。

　　2022年4月，由深圳市托理拆利機電設備有限公司給廣東某半導體行業(yè)項目選用了兩套愛德華Edwards真空泵，目前設備安裝調試完畢，運行穩(wěn)定。在光伏、鋰電、半導體面板等要求較高的領域及其工藝特性，需要一個極其潔凈的環(huán)境以保證生產(chǎn)過程中產(chǎn)品不受空氣污染或擾動的影響，且要求真空系統(tǒng)絕對無油，對設備的穩(wěn)定性和可靠性要求也比較高，因此Edwards真空泵是光伏鋰電半導體面板等領域中必備的通用設備，愛德華真空泵100%無油，變頻節(jié)能，安全可靠完全滿足要求。

　　半導體行業(yè)真空應用工藝介紹

　　半導體行業(yè)中的蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設備，機械手，自動化真空清掃等 所需用真空為生產(chǎn)真空（中高真空）；清掃真空（粗真空）；工藝真空（粗真空）。

　　工藝真空主要利用負壓吸附進行工件搬運或夾持，清掃真空主要利用負壓與大氣壓差進行液體或顆粒的清除或輸送。

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