XYZ測(cè)量行程:300x300x150 mm/ 300x300x200 mm
承載力:30 kg
光學(xué)鏡頭:單放大倍率,固定倍率固定鏡頭光學(xué)與工廠可配置的后適配管和現(xiàn)場(chǎng)可互換前置鏡頭;可選雙放大率,具有現(xiàn)場(chǎng)可更換的前置透鏡的固定透鏡
光學(xué)測(cè)量的相機(jī):200萬(wàn)像素(1628 x 1236)數(shù)碼單色;彩色和其他相機(jī)配置可選
照明:可編程LED照明系統(tǒng),共軸通過(guò)鏡頭的表面光,平臺(tái)下的背光,和多色環(huán)形光與自動(dòng)入射角控制網(wǎng)格自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)
傳感器的選擇:TTL激光彩虹探頭,離軸白光傳感器
測(cè)量模式:高速移動(dòng)與測(cè)量(MAM)連續(xù)圖像捕獲(CIC)
產(chǎn)品特征:Benchmark 300標(biāo)準(zhǔn)配備
:•高分辨率單放大率光學(xué)系統(tǒng)
•2.5倍顯微鏡物鏡
•0.1um光柵尺
•可編程環(huán)形燈(PRL)
•多功能手動(dòng)控制器
•基于pc的系統(tǒng)控制器。
•VIEW計(jì)量軟件(VMS),它在一個(gè)系統(tǒng)中結(jié)合了功能和易用性。
Benchmark300特殊選項(xiàng)包括
:•精度升級(jí)為0.05um光柵尺分辨率
•脈沖背光用于連續(xù)圖像捕捉(CiC)應(yīng)用所有的標(biāo)準(zhǔn)VIEW硬件和軟件選項(xiàng)也在Benchmark300上可用,包括:
•雙放大光學(xué)系統(tǒng)
•網(wǎng)格自動(dòng)對(duì)焦與Ronchi或點(diǎn)網(wǎng)格投影儀
•0.8 x、1X、5X、10X和25X的前置物鏡通過(guò)鏡頭同軸(TTL)激光
•microtheta旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)
•彩虹探針™
•工業(yè)數(shù)字I/O
•溫度監(jiān)控
•Element Cad測(cè)量軟件
•連續(xù)圖像捕捉(CiC)
•面域多焦點(diǎn)軟件包
•圖像處理包