上海茂竺的特氣設(shè)備有特氣柜(Gas Cabinet或稱鋼瓶柜.氣瓶柜).氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),閥門箱(VMB),閥門盤(VMP).氣體偵測器(Gas Detector).廢氣處理器(Scrubber)以及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺(CDU.TEE-BOX.SAMPLING BOX).
上海茂竺公司還提供特氣設(shè)備的安裝服務(wù).特氣系統(tǒng)的二次配管及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺的安裝.化學(xué)品供應(yīng)管道的配管等高潔凈要求的業(yè)務(wù).
從日本.歐美等發(fā)達(dá)國家進(jìn)口的電子級材料.如EP級 (BA級.AP級)不銹鋼管道(Tube.SSL,SS,或稱電子級管道.超高純管道.潔凈管道).隔膜閥(Diaphragm Valve), 減壓閥(Regulator.或稱調(diào)壓閥),過濾器(filter..μm).fitting(Gland ,Tee -)等等超高純特殊氣體系統(tǒng)中必需采用的各類零部件.同時.提供危險氣體的泄漏探測器(探測系統(tǒng))及一般氣體的濃度偵測等服務(wù).適合特殊氣體的控制和輸送的設(shè)備.被廣泛應(yīng)用到太陽能電池生產(chǎn)線及微電子領(lǐng)域.
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