鎵擴(kuò)擴(kuò)散爐
主要技術(shù)指標(biāo)
擴(kuò)散爐組機(jī)、推拉舟及層流凈化臺(tái)
源柜、排毒柜、微機(jī)控制柜
擴(kuò)散爐管數(shù):1~3管/臺(tái)
爐管內(nèi)徑:90~240mm(2寸-6寸)
恒溫區(qū)長度:600~1000mm±1℃(300~800℃)
600~1000m±0.5℃(800~1250℃)
單點(diǎn)穩(wěn)定性:±1℃/24H(300~800℃)
±0.5℃/24H(800~12500℃)
氣源路數(shù):5路
氣源控制:MFC或浮子流量計(jì)
推拉舟速度范圍及精度:(1~1000)±3mm/min
控制器采用歐姆龍觸摸屏和PLC控制